项目名称： 6寸手动探针台 项目编号： 清采比选******号
公告开始日期： 2024-11-12 08:20:38 公告截止日期： 2024-11-15 09:00:00
签约时间要求： 成交后5个工作日内 交货时间要求： 签订合同后30个工作日内
采购单位：******大学
国内合同付款方式： 合同签订后60%，验收合格后40%
收货地址：******大学
采购清单采购商品： 6寸手动探针台 采购数量： 1 计量单位： 台
技术参数及配置要求： 1)载物台支持晶圆尺寸：6英寸2)Chuck XY轴行程：不小于150*150mm3)XY轴移动分辨率：≤5μm4)Z轴可调范围：≥10mm5)Theta轴：≥± 6°6)配置CCD，像素≥200W；7)配置防震台和空压机和真空泵8)★配置67GHz 探针2根，射频针座两套9)★配置射频线缆两根，校准软件一套并且支持OSLT和LRRM校准方式10)为了保证测试准确度，校准软件，探针和射频针座为同一厂家
质保期： 12个月
